Для отправки ваших публикаций, пожалуйста, зарегистрируйтесь.

Если Вы уже зарегистрированы, то авторизуйтесь на сайте.


  1. Вход или регистрация
  1. Подписка

Компания "ЛВТ" представит новые установки для плазмохимии и напыления на ВТЭ-2017
10 апреля 2017             

Компания "ЛВТ" представит новые установки для плазмохимии и напыления на ВТЭ-2017Компания "Лаборатории вакуумных технологий" (Beams&Plasmas) покажет свои новинки на выставке "ВакуумТехЭкспо"-2017 (ВТЭ-2017).
 
Будет представлено следующее оборудование:
  • плазмохимическая установка НИКА-2014 ПХТ;
  • установка магнетронного напыления НИКА-13 ПР-С;
  • цифровые вакуумные датчики ВТРЦ-ДТВ01 и ВТРЦ-ПМТ, ВМЦ.
 
НИКА-2013 представляет собой полноценную промышленную машину с большой загрузкой, сухой откачкой, быстрой перезагрузкой.
 
Основные технические особенности данной установки:
  • Назначение: напыление резистивных слоев, ионная очистка и травление; нанесение толстых металлических слоёв методом термовакуумного испарения в магнетронном разряде.
  • Состав: Камера Ш700х500 мм, до 4 магнетронов, нагреватель, ионный источник. Возможность установки дополнительного оборудования.
  • Загрузка: 136 подложек 60х48 или 48 круглых подложек Ш100.
  • 3 модификации: резистивные слои РС, проводящие слои ПС (напыление), магнетронное осаждение/травление МО/МТ (плазмохимия).
 
НИКА-2014 - шлюзовая плазмохимическая установка для процессов травления или осаждения в среде высокоплотной плазмы. Применима при травлении микроструктур в полупроводниковом производстве, MEMS технологии, оптике. Состав: камера Ш350х300 мм, генератор плазмы РПГ-250, охлаждаемый/нагреваемый стол с гелиевым теплоотводом, магнитная система. Сухая откачка. 2 модификации: плазмохимическое травление (ПХТ)/ плазмохимическое осаждение (ПХО).
 
Цифровые низковакуумные и высоковакуумные датчики собственного производства (Beams&Plasmas) с улучшенными характеристиками используются для замены вакуумметров типа Мерадат, 13ВТ-003 и ВМБ-8 (ВМБ-14) и ламп ПММ-32-1, ПМТ-6. Вакуумметры Beams&Plasmas устраняют наводки на аналоговые цепи, отличаются высокой точностью измерений.

и-Маш. Ресурс Машиностроения.

Обсудить новость на Форуме Машиностроителей     








Комментариев пока нет
Написать комментарий
Комментирование доступно при авторизации через любую из социальных сетей:



Написать комментарий как пользователь ВКОНТАКТЕ:


Написать комментарий как пользователь FACEBOOK:

Самое обсуждаемое за последнее время

    Другие публикации по теме





    Автоматизация промышленных предприятий Автоматизация промышленных предприятий
    Диспетчеризация производства, идентификация и прослеживаемость, управление КПЭ (KPI)...
    (495) 662-43-70
    Rodcraft (Родкрафт), Deprag, Stahlwille (Штальвиль), инструмент Atlas Copco (Атлас Копко), Iscar (Искар), Sandvik Coromant (Сандвик Коромант), Mitsubishi (Митсубиси). Маркировка труб, горячего металла в металлургии. Промышленное оборудование и инструмент
    Rodcraft (Родкрафт), Deprag, Stahlwille (Штальвиль), инструмент Atlas Copco (Атлас Копко), Chicago Pneumatic (Чикаго Пневматик), Fuji (Фуджи), Desoutter, Iscar (Искар), Sandvik Coromant (Сандвик Коромант), Mitsubishi (Митсубиси), Korloy (Корлой), Seco tools, SGS tools, Onsrud, Fette, Guhring и пр. Оборудование для маркировки. Маркировка труб, горячего металла в металлургии. Фаскосниматели (фаскорезы, кромкорезы), ручные фрезеры по металлу. Пневмодвигатели (пневматические двигатели, пневмомоторы).
    (495) 668-13-58
    ИРОК-2М. Купить. Инструкция.
    Инструмент ИРОК-2М от производителя. Купить. Скачать инструкцию и другие документы. Прочий электромонтажный инструмент и электрокомпоненты.
    (495) 668-13-58 доб. 4
    Реклама на сайте и-Маш Реклама на сайте и-Маш      
    pr()i-mash.ru